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我校仲崇立教授團隊在含氟電子特氣純化研究方面取得重要進展

2024-09-04 發布 · 1657 閱讀 · 1656 喜歡 · 1656 評論

近日,《德國應用化學》( Angew. Chem. Int. Ed.)在線發表了我校化學工程與技術學院仲崇立/黃宏亮團隊完成的題為“Fluorinated MOF-Based Hexafluoropropylene Nanotrap for Highly Efficient Purification of Octafluoropropane Electronic Specialty Gas”的學術論文(Mingze Zheng, Wenjuan Xue, Tongan Yan, Zefeng Jiang, Zhi Fang, Hongliang Huang,* Chongli Zhong,* Angew. Chem. Int. Ed., DOI: 10.1002/anie.202401770)。

八氟丙烷(C3F8)作為含氟電子特種氣體之一,因其良好的化學和熱穩定性、較低的大氣壽命和更有效的蝕刻/清洗性能而廣泛應用于半導體和集成電路制造領域。工業上C3F8的生產通常伴隨著六氟丙烯(C3F6)雜質,無法滿足集成電路制造領域對C3F8的純度要求。由于C3F8和C3F6具有非常相似的物理和化學性質,以及接近的分子尺寸,生產高純度的C3F8是一個具有挑戰性的過程,工業上通常采用精餾方法進行分離,但其能耗大,設備投資高。相比之下,吸附分離技術具有優勢。

本研究提出了氟化孔隙工程策略,實現了C3F6/C3F8的高效分離。通過在籠狀孔結構的Zn-bzc材料孔窗口處引入氟化基團,不僅提供了合適的孔窗口尺寸,實現了C3F6/C3F8的分子篩分分離,而且氟化基團能夠與C3F6分子形成F···F相互作用,強化了C3F6親和力。值得注意的是,氟化孔隙工程可以創造疏水微環境,使Zn-bzc-CF3MOF具有較高的化學穩定性和優異的吸附循環再生性能,從而具有良好的應用前景。

該工作的第一作者為博士生鄭銘澤,黃宏亮副研究員和仲崇立教授為共同通訊作者。本成果受到國家自然基金(No. 22141001, 21978212)和天津科技計劃項目(No. 21ZYJDJC00040)的資助。

1 MOF 氟化孔工程策略篩分分離 C3F8/C3F6 混合物的示意圖

(審稿:化學工程與技術學院陳繼榮?武春瑞?編輯:黨委宣傳部?劉孜勤)

圖片來源:化學工程與技術學院

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